静压差应具有两个作用:
1.在门,窗关闭情况下,以免洁净室外的污染由缝隙渗入洁净室内。
2.在门开启时,让气流向外流动,尽量消减由开门动作和人的进入的瞬时带进来的气流量,并在以后门开启状态下,气流方向是向外的,以便把带入的污染减小到低程度。
除了洁净室在关门状态下的内外压差要符合标准外,还规定在开门状态下,门口的室内测距门约60cm处的含尘浓度对于100级洁净室应小于其级别的浓度上限,就是为了表示室外的入侵气流确实少并受到了外流气流的影响。
洁净室静压差测量后,按照设计或工艺要求来维持检测洁净室的正压或负压,要比对合格标准。
1、级别不同的洁净室区域与非洁净室区域之间的静压差,不小于5Pa;
2、洁净室与室外的静压差,不应小于10Pa;
3、打开空气洁净度等级高于百级的单向流洁净室门时,门内0.6米的室内工作区含尘浓度不应大于相应级别的含尘浓度限值。
4、对于达不到以上标准的,应该重新调整洁净室新风量、排风量,直到合格为止。
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